關(guān)于微振動(dòng)的評估和測量，你了解多少？

更新時(shí)間：2020-12-18

點(diǎn)擊次數(shù)：13040

關(guān)于微振動(dòng)的評估和測量，你了解多少？︳振動(dòng)準(zhǔn)則（VC）曲線：振動(dòng)等級(jí)評估標(biāo)準(zhǔn)

如何評價(jià)實(shí)驗(yàn)室是否達(dá)到實(shí)驗(yàn)/應(yīng)用的微震需求？

如何判定實(shí)驗(yàn)設(shè)備需要/不需要進(jìn)行隔振處理？

今天我們來分享一種評判環(huán)境振動(dòng)程度的評估準(zhǔn)則：

Vibration Criterion (VC) Curves——振動(dòng)準(zhǔn)則(VC)曲線。

VC(振動(dòng)準(zhǔn)則)曲線是在20世紀(jì)80年代早期由Eric Ungar和Colin Gordon提出的。它們初是為了半導(dǎo)體，醫(yī)療和生物制藥行業(yè)的振動(dòng)敏感設(shè)備的通用振動(dòng)標(biāo)準(zhǔn)而開發(fā)的，經(jīng)過這么多年的擴(kuò)展和參數(shù)準(zhǔn)確，目前已在多種技術(shù)應(yīng)用中得到廣泛使用和借鑒，在設(shè)計(jì)一些精密使用的高振動(dòng)靈敏度設(shè)備時(shí)，VC曲線標(biāo)準(zhǔn)已在世界范圍內(nèi)被廣泛接受并引用。

該標(biāo)準(zhǔn)采用一組1/3倍頻帶速度譜（one-third octave band velocity spectra），以及標(biāo)準(zhǔn)組織（ISO）關(guān)于振動(dòng)對建筑物中人的影響判斷準(zhǔn)則，適用于在垂直和兩個(gè)水平方向上測量的振動(dòng)。

其中，NIST-A標(biāo)準(zhǔn)是為計(jì)量學(xué)而開發(fā)的，近年來在納米技術(shù)界也廣受歡迎。但是，NIST-A準(zhǔn)則在某些低頻振動(dòng)較大的地點(diǎn)很難得到滿足。

目前一般認(rèn)為： VC-M是可測得的低值，現(xiàn)今還無法在此標(biāo)準(zhǔn)以下進(jìn)行準(zhǔn)確的振動(dòng)測量，因?yàn)?/span>現(xiàn)今敏感的傳感器也因?yàn)閭鞲衅鞯?/span>內(nèi)部噪聲而降低了靈敏度，無法達(dá)到VC-M的測量基準(zhǔn)。

振動(dòng)現(xiàn)場調(diào)查可以確認(rèn)很多有關(guān)如何在實(shí)驗(yàn)室中振動(dòng)隔離設(shè)備的信息。

曲線標(biāo)準(zhǔn)	振幅 μm/s (μin/s)	Detail Size2 μm	用途描述
Workshop (ISO)	800( 32,000)	N/A	振感明顯。適用于車間或非振動(dòng)敏感區(qū)域。
Office (ISO)	400 (16,000)	N/A	可察覺的振動(dòng)。適用于辦公室及非敏感地區(qū)。
Residential Day (ISO)	200 (8000)	75	幾乎察覺不到的振動(dòng)。大多數(shù)情況下適合睡眠區(qū)域。通常適用于計(jì)算機(jī)設(shè)備、醫(yī)院康復(fù)室、半導(dǎo)體探針測試設(shè)備和小于40倍的顯微鏡。
Op. Theatre (ISO)	100 (4000)	25	不易于察覺的振動(dòng)。適用于外科設(shè)備，100倍的顯微鏡或其他低靈敏度的設(shè)備。
VC-A	50 (2000)	8	通常適用于400倍的光學(xué)顯微鏡、微天平、光學(xué)天平、接近和投影對準(zhǔn)器等。
VC-B	25 (1000)	3	適用于線寬為3μm的檢查和光刻（包括步進(jìn)機(jī)）。
VC-C	12.5 (500)	1 - 3	適用于1000倍光學(xué)顯微鏡，1μm的檢查/光刻檢查設(shè)備（包括中靈敏度電子顯微鏡），TFT-LCD步進(jìn)/掃描器。
VC-D	6.25 (250)	0.1 - 0.3	適用于要求苛刻的設(shè)備，包括電子顯微鏡（TEM和SEM）和電子束系統(tǒng)。
VC-E	3.12 (125)	< 0.1	一個(gè)難以達(dá)到的標(biāo)準(zhǔn)。適用于高靈敏度系統(tǒng)，包括長徑、激光、小目標(biāo)系統(tǒng)、納米尺度的電子束光刻系統(tǒng)，以及其他對動(dòng)態(tài)穩(wěn)定性要求*的系統(tǒng)。
VC-F	1.56 (62.5)	N/A	適用于極其安靜的研究空間；通常在大多數(shù)情況下都很難實(shí)現(xiàn)，尤其是在潔凈室中。不建議將其用作設(shè)計(jì)標(biāo)準(zhǔn)，僅用于評估。
VC-G	.78 (31.3)	N/A	適用于極其安靜的研究空間；通常在大多數(shù)情況下都很難實(shí)現(xiàn)，尤其是在潔凈室中。不建議將其用作設(shè)計(jì)標(biāo)準(zhǔn)，僅用于評估。
NIST-A			在高于20 Hz的頻率下，NIST-A標(biāo)準(zhǔn)與VC-E曲線相同，但低于此頻率時(shí)，則保持恒定位移。 1至20 Hz之間為0.025μm或25 nm; 20至100 Hz之間為3.1μm/ s（125μin / s）
NIST-A1			NIST-A1標(biāo)準(zhǔn)要求小于4 Hz的頻率的RMS速度為3μm/ sec（118μin。/ sec），而對于4 Hz <f <100 Hz的頻率則為0.75μm/ sec（29.5μin。/ sec）速度
VC-H	.39 (15.63)	N/A	適用于極其安靜的研究空間；通常在大多數(shù)情況下都很難實(shí)現(xiàn)，尤其是在潔凈室中。不建議將其用作設(shè)計(jì)標(biāo)準(zhǔn)，僅用于評估。
VC-I	.195 (7.81)	N/A	適用于極其安靜的研究空間；通常在大多數(shù)情況下都很難實(shí)現(xiàn)，尤其是在潔凈室中。不建議將其用作設(shè)計(jì)標(biāo)準(zhǔn)，僅用于評估。
VC-J	.097 (3.9)	N/A	適用于極其安靜的研究空間；通常在大多數(shù)情況下都很難實(shí)現(xiàn)，尤其是在潔凈室中。不建議將其用作設(shè)計(jì)標(biāo)準(zhǔn)，僅用于評估。
VC-K	.048 (1.95)	N/A	適用于極其安靜的研究空間；通常在大多數(shù)情況下都很難實(shí)現(xiàn)，尤其是在潔凈室中。不建議將其用作設(shè)計(jì)標(biāo)準(zhǔn)，僅用于評估。
VC-L	.024 (0.98)	N/A	適用于極其安靜的研究空間；通常在大多數(shù)情況下都很難實(shí)現(xiàn)，尤其是在潔凈室中。不建議將其用作設(shè)計(jì)標(biāo)準(zhǔn)，僅用于評估。
VC-M	.012 (0.49)	N/A	適用于極其安靜的研究空間；通常在大多數(shù)情況下都很難實(shí)現(xiàn)，尤其是在潔凈室中。不建議將其用作設(shè)計(jì)標(biāo)準(zhǔn)，僅用于評估。

1在8至80 Hz（VC-A和VC-B）或1至80 Hz（VC-C至VC-G）頻率范圍的三分之一倍頻程中測得

2 detail size是指微電子制造情況下的線寬，醫(yī)學(xué)和制藥研究情況下的粒子（單元）尺寸等。與探針技術(shù)，AFM和納米技術(shù)相關(guān)的成像無關(guān)。

森泉光電擁有全套的微振動(dòng)測量設(shè)備，可提供一站式、高精度、多對比、準(zhǔn)確位置的現(xiàn)場振動(dòng)環(huán)境測試，讓客戶多面的了解實(shí)驗(yàn)室的現(xiàn)場振動(dòng)環(huán)境，并提供針對性的微振動(dòng)抑制方案。