Thorlabs NanoMax™ 6軸撓性位移臺MAX603D，納米定位

Thorlabs的NanoMax™ 6軸納米定位撓性位移臺采用平行的撓性設計確保精確平滑的連續運動，摩擦幾乎可以忽略。對于復雜的多軸定位應用，平行撓性位移臺將三個以上自由度集成在單個小型裝置中，明顯比按序堆疊位移臺的設計具有好的性能。非常適合光纖耦合系統，或需要亞微米分辨率的應用。

同時我們提供帶或不帶預配置壓電驅動器（開環/閉環）、差分或步進電機驅動器的版本。位移臺的標稱載物臺高度為112.5 mm(4.43英寸)，匹配高度為112.5 mm的5軸位移臺套件。我們也提供轉接板，用于將3軸和4軸撓性位移臺的載物臺高度從62.5 mm提升到112.5 mm，從而兼容我們的NanoMax™6軸位移臺。

我們的6軸NanoMax位移臺作為功能強大的納米定位工具還有2個創新點：一是公共旋轉支點，二是將所有調節器直接耦合到底座的專有設計，以盡量減少系統中不必要的運動。

公共旋轉點

如下圖所示，每個NanoMax 6軸位移臺在移動平臺前都有不銹鋼探針，標記所有旋轉軸的公共支點。所有旋轉軸具有公共支點，可以減少系統的對準時間，因為這樣在調整θx、θy和θz時不需要補償橫向運動。如果移動平臺開始平移，支點也會相對底座移動，保持支點和移動平臺的相對位置。

可拆下的不銹鋼探針頂部標記了所有旋轉軸的公共支點

點P是所有三個旋轉軸（偏轉、俯仰和擺動）的公共支點。

精密驅動

NanoMax™6軸位移臺提供預配置差分測微頭驅動器或步進電機驅動器的位移臺，即開即用。NanoMax 6軸位移臺的模塊化設計允許在任何時候拆卸和更換驅動器。驅動器都直接耦合到底座，以盡量減少系統中不必要的運動。這種特性非常適合需要亞微米級分辨率的應用。對于納米定位應用，我們有內置壓電驅動器的版本包括開環和閉環。

壓電選項

開環或閉環的壓電選項讓這些位移臺實現納米級的分辨率。內置于位移臺的壓電驅動器具有30 µm的行程，可使用多種開環或閉環壓電控制器控制。將這些位移臺與NanoTrak控制器(K-Cube、臺式或機架系統模塊)耦合時，系統具有強大的自對準功能，能夠維持光通量，并消除由于熱漂移或其它外力引起的耦合效率損耗。這些壓電位移臺包含6根PAA100驅動電纜，在閉環系統的情況下，包含6根PAA622反饋變換器電纜。

具有開環壓電驅動器的位移臺沒有應變儀位移傳感器，非常適合需要定位分辨率低至20 nm的應用。帶閉環壓電驅動器的版本內部有應變儀位移傳感器，可提供與壓電元件的位移呈線性比例的反饋電壓信號。這種反饋信號將分辨率提高到5 nm，可用于補償所有壓電元件中固有的遲滯、蠕變和熱漂移，使這些位移臺成為需要納米級分辨率應用的好的選擇。

請注意，壓電機制利用與測微計驅動器的接觸來移動頂部平臺。不管出于任何原因，如果位移臺在拆除測微計驅動器的情況下工作，必須在壓電驅動器運行之前安裝盲塞。

配件的簡易對準

我們提供多種配件來安裝產品，比如顯微物鏡、準直器、波導、光纖等更多產品。這些配件可以通過中心鍵槽在6軸位移臺的頂部平臺上輕的松實現對準。頂部平臺的中心鍵槽便于快速重新配置系統，同時還能在整個實驗中維持配件的對準。

Thorlabs NanoMax™ 6軸撓性位移臺MAX603D，納米定位

產品特性與參數

X軸和Z軸：1 N/µm

Y軸：0.5 N/µm

不帶驅動器

帶步進電機驅動器

帶差分驅動器